SCIMAX®
ultrareine rohre für die halbleiterindustrie
SCiMax® Flow Equipment erfüllt die hohen Anforderungen der Halbleiterbranche. Durch präzise Oberflächenbearbeitung, mehrstufige Reinigung und hochwertige Fertigung bieten SCiMax® Rohre maximale Reinigbarkeit, Prozesssicherheit und Wiederholgenauigkeit. Für den Einsatz mit ultrareinen Medien entwickelt, sind SCiMax® Edelstahlrohre die zuverlässige Lösung für kritische Halbleiterprozesse weltweit.
Ultra High Purity mit garantiertem Ra
SCiMax® Rohre werden nach den exklusiven SMT1-Spezifikationen von EGMO gefertigt – konform zu den strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie. Die garantierte Oberflächenrauheit (Ra) und die hervorragende Schweißbarkeit sorgen für erstklassige Orbital-Schweißergebnisse und maximale Zuverlässigkeit in ultrareinen Prozessen.
Garantierte Ra-Werte
Durch modernste Poliertechnologie erreichen SCiMax® Rohre eine garantierte Oberflächenrauheit (Ra) selbst in kritischen Bereichen wie Bögen, die schwer zu bearbeiten und zu messen sind.
Maximale Reinigbarkeit
Ein mehrstufiger Reinigungsprozess mit Entfettung, Passivierung und Elektropolitur sorgt für eine perfekte Passivschicht. Die Endreinigung erfolgt mit Reinstwasser im kontrollierten Reinraum.
Maximale Verfügbarkeit
Dank hochmoderner Fertigung und einem starken Vertriebsnetz in Europa, den USA und Asien garantiert EGMO höchste Qualitätsstandards und schnelle Verfügbarkeit für Rohrlösungen in der Halbleitertechnik.
Toleranzen für maximale Prozesssicherheit
SCiMax® Rohre werden nach den Normen ASTM A269, A270 und A632 mit engen Fertigungstoleranzen hergestellt. Kritische Maße wie Außendurchmesser, Wandstärke, Winkelabweichungen und Geradheit werden exakt überwacht. Längenmaße wie End-to-End und Center-to-End unterliegen einer Toleranz von ±1,27 mm – für gleichbleibende Qualität und höchste Zuverlässigkeit in Reinheitsanwendungen.
SCiMax® Rohre
Präzisionsrohre aus Edelstahl für Reinraumanwendungen
SCiMax® Edelstahlrohre erfüllen die Normen ASTM A269, A270 und A632 und garantieren enge Maßtoleranzen sowie gleichbleibende Materialqualität. Gefertigt aus 316/316L Edelstahl nach SMTI-Spezifikation, mit ≤0,003 % Schwefelgehalt, bieten sie optimale Reinigbarkeit und Korrosionsbeständigkeit.
Standardlänge: 6,1 m (20 Fuß) – Sonderlängen auf Anfrage. Die Betriebsdrücke basieren auf 20.000 psi zulässiger Spannung gemäß ASME B31.1/B31.3 und decken Rohrgrößen von ¼" bis 6" ab – perfekt für ultrareine Halbleiteranwendungen.
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