Lösungen für hochreine Gassysteme
UHP-Gase in der Halbleiterproduktion müssen besonders rein und frei von Fremdstoffen sein. Nur so können sicher und wirtschaftlich mikroelektronische Bauteile produziert werden. Dabei werden hohe Anforderungen an die Medienversorgung gestellt. Für diese anspruchsvollen Aufgaben bieten wir Rohre und Fittings unserer Marke SCiMax® an.
Für höchste Ansprüche
Durch die Rohrleitungen von Fit-Ups und Hook-Ups in FABs strömt Gas, das unter strengen Kontrollen hergestellt, gelagert und verteilt wird.
Genauso anspruchsvoll sind wir bei Rohren und Fittings unserer Marke SCiMax®: korrosionsbeständige Edelstähle, Oberflächen mit Ra-Werten, elektropoliert und verpackt im Reinraum ISO Klasse 4 und 6.
Das SCiMax®-Ecosystem
Reinheit entsteht nicht durch ein einzelnes Produkt, sondern durch ein perfekt abgestimmtes System. Das SCiMax®-Ecosystem verbindet Rohre, Fittings, Adapter und kundenspezifische Baugruppen zu einem einheitlichen High-Purity-Flow-System.
Jede Komponente folgt denselben Reinheits- und Fertigungsstandards, für eine durchgängige Qualität, die sich über den gesamten Prozess erstreckt.
Wo Reinheit auf Leistung trifft
In der Halbleiterproduktion entscheidet absolute Reinheit über Qualität, Ausbeute und Prozessstabilität. SCiMax®-Systeme sind speziell für diese hochsensiblen Anwendungen entwickelt, von der Waferherstellung über CMP- und Lithographieprozesse bis hin zur Versorgung mit hochreinen Chemikalien und Prozessgasen.
Jede Komponente trägt dazu bei, Kontaminationen zu vermeiden, Partikelbildung zu reduzieren und die Reinheit der Prozessmedien konstant zu sichern.
Von der Versorgungseinheit bis zur Prozesskammer: SCiMax® steht für kompromisslose Reinheit, Rückverfolgbarkeit und technische Präzision in jeder Phase der Halbleiterfertigung. Unsere Systeme erfüllen die strengsten internationalen Normen für UHP-Materialien, Oberflächen und Verpackung - und sind bereit für die Fertigungsprozesse der nächsten Generation.
SCiMax® – entwickelt für die Reinheit der Halbleiterindustrie.
Vertrauen durch geprüfte Qualität
Jede SCiMax® Komponente steht für dokumentierte Reinheit und nachweisbare Präzision. Von der Materialcharge bis zur finalen Verpackung wird jeder Produktionsschritt geprüft, rückverfolgt und gemäß internationaler High-Purity-Standards dokumentiert. Dieses Qualitätsversprechen bildet die Grundlage für das Vertrauen unserer Kunden – weltweit.
Qualitätskontrolle & Prüfverfahren
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100 % visuelle und dimensionale Endkontrolle
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Helium-Dichtheitsprüfung bis 1×10⁻⁹ scc/sec
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Oberflächenanalyse nach ASME B46.1 / SEMI F19
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Regelmäßige interne Audits und Dokumentationsprüfung
Zertifizierungen & Standards
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ASME BPE – Bioprocessing Equipment Standard
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SEMI F19 / F57 – Semiconductor Process Standards
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EN 10204 3.1 – Werksprüfzeugnisse für Materialqualität
Wissen schafft Reinheit
Wissen ist die Grundlage jeder Innovation im High-Purity-Bereich.
SCiMax® vereint jahrzehntelange Fertigungserfahrung mit tiefem Prozessverständnis – und teilt dieses Know-how mit Ingenieuren, Entwicklern und Qualitätsverantwortlichen weltweit. Unsere Whitepaper, Fachartikel und Videos bieten Einblicke in die technischen Hintergründe moderner UHP-Fertigung und Oberflächenbearbeitung.
Know-how für die Reinheit von morgen.
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